Elektronenstrahlschreiber
- Elektronenstrahlschreiber
- elektronpluoštis litografijos įrenginys
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. electron-beam aligner; electron-beam exposer; electron-beam writer
vok. Elektronenstrahlbelichtungsanlage, f; Elektronenstrahlschreiber, m
rus. установка электронно-лучевой литографии, f
pranc. installation de lithographie électronique, f; installation de lithographie par faisceau d'électrons, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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Photolithograph — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
